- MEMS悬臂梁探针的结构与材料研究
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- 《传感器与微系统》九江学院理学院江西省微结构功能材料重点实验室 程融 周玉修 出版年:2021
- 关键词:晶圆测试 悬臂梁探针 最大应力 针尖位移 梯形悬臂梁
- 基于改进的迈克尔逊干涉仪对热变形特性的研究
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- 《九江学院学报(自然科学版)》九江学院理学院/江西省微结构功能材料重点实验室 谢钧 沈伦洋 查一昆 出版年:2022
- 关键词:迈克尔逊干涉仪 热变形 干涉环 杠杆 比例系数
- 传感器技术在杨氏模量测量中的研究与实践
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- 《九江学院学报(自然科学版)》九江学院理学院/江西省微结构功能材料重点实验室;九江学院理学院微电子科学与工程 余剑敏 肖楠 出版年:2021
- 关键词:杨氏模量 拉伸法 位移传感器 力传感器
- 劈裂的硅长方体超表面中toroidal偶极的调控研究
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- 《九江学院学报(自然科学版)》九江学院理学院/江西省微结构功能材料重点实验室 付淑婷 陈培智 曹嘉伟 傅明珠 孙光厚 出版年:2021
- 关键词:超表面 硅 toroidal偶极 调控