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九江学院理学院江西省微结构功能材料重点实验室 收藏

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研究主题:MEMS    悬臂梁    晶圆测试    针尖    传感器技术    

研究学科:自动化类    机械类    

被引量:3H指数:1北大核心: 1 CSCD: 1

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4 条 记 录,以下是 1-4

MEMS悬臂梁探针的结构与材料研究
1
《传感器与微系统》九江学院理学院江西省微结构功能材料重点实验室 程融 周玉修  出版年:2021
国家自然科学基金资助项目(11764023)。
针对当前晶圆测试探针常用的两种金属材料镍和钨,采用COMSOL多物理场仿真软件对微机电系统(MEMS)悬臂梁探针在承受20 mN测试力时,悬臂梁结构的最大应力和针尖位移进行分析。仿真结果表明:两种材料悬臂梁结构的最大应力...
关键词:晶圆测试 悬臂梁探针  最大应力  针尖位移  梯形悬臂梁  
基于改进的迈克尔逊干涉仪对热变形特性的研究
2
《九江学院学报(自然科学版)》九江学院理学院/江西省微结构功能材料重点实验室 谢钧 沈伦洋 查一昆  出版年:2022
在建筑工程、机械装配和电子工业等部门的实际作业中,金属材料热膨胀会产生极大的影响,对热膨胀微小变化量的精确测量是非常重要的.该实验对迈克尔逊干涉仪进行适当的改进,使整套装置具有直接和间接测量热膨胀微小变化量的能力.通过手...
关键词:迈克尔逊干涉仪 热变形 干涉环  杠杆  比例系数
传感器技术在杨氏模量测量中的研究与实践
3
《九江学院学报(自然科学版)》九江学院理学院/江西省微结构功能材料重点实验室;九江学院理学院微电子科学与工程 余剑敏 肖楠  出版年:2021
江西省高校优秀青年人才支持计划项目(编号gxyq2019260)的成果之一.
采用拉伸法测量金属丝的杨氏模量关键在于精准的测量金属丝受力产生的形变.自制杨氏模量测量仪在测量金属丝的受力大小和微小形变时采用传感器技术,传感器将得到的金属丝的受力大小和形变转化为电信号,再通过数字量显现,实现拉伸法测量...
关键词:杨氏模量 拉伸法 位移传感器 力传感器
劈裂的硅长方体超表面中toroidal偶极的调控研究
4
《九江学院学报(自然科学版)》九江学院理学院/江西省微结构功能材料重点实验室 付淑婷 陈培智 曹嘉伟 傅明珠 孙光厚  出版年:2021
江西省2020年大学生创新创业训练计划项目(编号S202011843037);江西省教育厅科技项目(编号GJJ190915)的成果之一.
文章利用有限元法研究了硅介质超表面的光学性质.研究结果表明,在硅长方体和劈裂硅长方体构成的超表面中激发了toroidal偶极共振,并且随着间隙宽度的增加,toroidal偶极共振快速增强.因此通过调节间隙宽度可以实现对t...
关键词:超表面  硅 toroidal偶极  调控  
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