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深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心 收藏

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研究主题:非平衡磁控溅射    TI    电弧离子镀    N    磁控溅射    

研究学科:自动化类    

被引量:77H指数:6WOS: 1 EI: 4 北大核心: 11 CSCD: 11

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