重庆科技学院机构知识库

科研产出

基于单壁碳纳米管阵列的力敏传感器 ( EI收录)

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《机械工程学报》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院电气与信息工程学院;清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室;清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 唐一科 郑富中 周兆英 杨兴 吴英  出版年：2010

国家自然科学基金资助项目(50875139;60876088)

利用传统的硅微加工技术,在硅片上制作出平行的微电极对,然后对硅片进行深刻蚀穿通,在微电极对之间获得长方形的贯通缝。接着利用大气流定向式的化学气相沉积方法在带有贯通缝与微电极的硅片上生长出超长单壁碳纳米管阵列,使单壁碳纳米...

关键词：化学气相沉积 悬空单壁碳纳米管阵列  应变传感 微纳传感器件  

多晶硅微型电极阵列的研制 ( EI收录)

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《半导体光电》重庆科技学院;重庆光电技术研究所;重庆大学光电工程学院 吴英 江永清 温志渝 张正元  出版年：2005

重庆市自然科学基金资助项目

讨论了pn结对制作硅微电极阵列的局限性,提出了一种在沟道侧壁制作多晶硅电极阵列的设计和制作方法。实验结果表明,利用该方法研制的微电极阵列不仅克服了pn结的影响,能够为MEMS芯片器件提供所需的工作电压,而且也为一些小型化...

关键词：MEMS 微型电极阵列  多晶硅

谐振式微加速度计驱动和检测结构设计及制作 ( EI收录)

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《重庆大学学报（自然科学版）》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院机械系;中国工程物理研究院电子工程研究所 何高法 唐一科 周传德 何晓平 吴英  出版年：2009

国家自然科学基金资助项目(60876088)

基于谐振式加速度计的工作原理和结构特点,设计了一种新型微加速度计谐振器,用解析法和有限元法计算了谐振器的横向驱动力以及其处于谐振状态时的检测电容值。综合粘性阻尼、运动阻尼和气膜阻尼,分析了谐振器在大气环境下的阻尼和品质因...

关键词：微机电系统 加速度计 谐振器 静电梳齿