期刊文章详细信息
多晶硅微型电极阵列的研制 ( EI收录)
Development of Polycrystalline Silicon Micro-electrode Array on Silicon Substrate
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]重庆科技学院 [2]重庆光电技术研究所,重庆400060 [3]重庆大学光电工程学院,重庆400044
基 金：重庆市自然科学基金资助项目
年 份：2005
卷 号：26
期 号：4
起止页码：317-319
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：2005399388343)、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：讨论了pn结对制作硅微电极阵列的局限性,提出了一种在沟道侧壁制作多晶硅电极阵列的设计和制作方法。实验结果表明,利用该方法研制的微电极阵列不仅克服了pn结的影响,能够为MEMS芯片器件提供所需的工作电压,而且也为一些小型化电极的设计及研制提供了新的思路和方法。
关 键 词：MEMS 微型电极阵列 多晶硅
分 类 号：TN256]
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