重庆科技学院机构知识库

科研产出

金属三维微结构加工技术的研究

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《仪表技术与传感器》重庆科技学院电气与信息工程学院;清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;中电集团电子44所;重庆科技学院电气与信息工程学院;日本东北大学工学部机械知能系 吴英 周兆英 江永清 向毅 小野崇人  出版年：2006

三维微结构制作技术是MEMS加工的关键技术之一.现有的三维微细加工技术主要有利用SU-8等光刻胶形成的以IC工艺为基础的硅三维微结构制作技术和以同步辐射X射线曝光为基础的LIGA技术.但是,在传统的去胶液中,SU-8光刻...

关键词：MEMS 微加工 反应离子刻蚀 电镀 金属微结构  

基于单壁碳纳米管的压阻式柔性传感器

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《传感技术学报》四川轻化工大学机械工程学院;清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室;重庆科技学院智能技术与工程学院 郑富中 吴英 张杰 杨兴  出版年：2019

四川省重点实验室开放基金项目(2018CL03);北京市国家自然科学基金项目(L172040);重庆市基础科学与前沿技术研究专项项目(cstc2018jcyjAX0519)

一维纳米材料与微结构结合的纳器件制造过程,实现了微纳加工工艺上的创新升级,有可能突破微米级器件的性能极限。首先利用传统的硅微加工技术,在综合性能优异的聚酰亚胺PI(Polyimide)薄膜上制作金(Au)微电极,形成排列...

关键词：柔性传感器 单壁碳纳米管 介电电泳  区域选择性电沉积Au  

基于单壁碳纳米管阵列的力敏传感器 ( EI收录)

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《机械工程学报》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院电气与信息工程学院;清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室;清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 唐一科 郑富中 周兆英 杨兴 吴英  出版年：2010

国家自然科学基金资助项目(50875139;60876088)

利用传统的硅微加工技术,在硅片上制作出平行的微电极对,然后对硅片进行深刻蚀穿通,在微电极对之间获得长方形的贯通缝。接着利用大气流定向式的化学气相沉积方法在带有贯通缝与微电极的硅片上生长出超长单壁碳纳米管阵列,使单壁碳纳米...

关键词：化学气相沉积 悬空单壁碳纳米管阵列  应变传感 微纳传感器件