文献类型：期刊文章

作　　者：郑富中[1,2] 吴英[3] 张杰[3] 杨兴[2]

ZHENG Fuzhong;WU Ying;ZHANG Jie;YANG Xing(College of Mechanical Engineering,Sichuan University of Science & Engineering,Zigong Sichun 643000,China;The State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments,Department of Precision Instrument, Tsinghua University,Beijing 100084,China;School of Intelligent Technology & Engineering,Chongqing University of Science & Technology,Chongqing 401331,China)

机构地区：[1]四川轻化工大学机械工程学院,四川自贡643000 [2]清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084 [3]重庆科技学院智能技术与工程学院,重庆401331

出　　处：《传感技术学报》

基　　金：四川省重点实验室开放基金项目(2018CL03);北京市国家自然科学基金项目(L172040);重庆市基础科学与前沿技术研究专项项目(cstc2018jcyjAX0519)

年　　份：2019

卷　　号：32

期　　号：7

起止页码：1009-1015

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD2019_2020、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：一维纳米材料与微结构结合的纳器件制造过程,实现了微纳加工工艺上的创新升级,有可能突破微米级器件的性能极限。首先利用传统的硅微加工技术,在综合性能优异的聚酰亚胺PI(Polyimide)薄膜上制作金(Au)微电极,形成排列有序的平行电极对;然后通过交流介电电泳的方法在微电极对间实现单壁碳纳米管SWNTs(Single-Walled Carbon Nanotubes)一维定向排布;接着采用区域选择性电沉积技术定域沉积Au压覆SWNTs,改善SWNTs与电极的接触特性。最后,针对基于SWNTs的柔性微纳传感器进行了力电特性测试。结果表明:在环境温度为(23±5)℃,湿度为65±15%RH,0.1 V工作电压下,压阻因子约为443,精度约为5.16%。上述研究结果在柔性微纳器件的制作方面显示了一定的应用前景,为实现超微型化和高功能密度化的柔性器件铺平道路。

关 键 词：柔性传感器 单壁碳纳米管 介电电泳  区域选择性电沉积Au  

分 类 号：TH823[仪器类]