重庆科技学院机构知识库

科研产出

金属三维微结构加工技术的研究

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《仪表技术与传感器》重庆科技学院电气与信息工程学院;清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;中电集团电子44所;重庆科技学院电气与信息工程学院;日本东北大学工学部机械知能系 吴英 周兆英 江永清 向毅 小野崇人  出版年：2006

三维微结构制作技术是MEMS加工的关键技术之一.现有的三维微细加工技术主要有利用SU-8等光刻胶形成的以IC工艺为基础的硅三维微结构制作技术和以同步辐射X射线曝光为基础的LIGA技术.但是,在传统的去胶液中,SU-8光刻...

关键词：MEMS 微加工 反应离子刻蚀 电镀 金属微结构  

MRI微型RF接收线圈的设计与制作

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《半导体光电》重庆科技学院电气与信息工程学院;重庆光电技术研究所;重庆科技学院;东北大学工学部．日本仙台980-8579;东北大学工学部．日本仙台980-8579 吴英 江永清 周兆英 田中小野 江刺正喜  出版年：2006

基于MEMS深刻蚀技术和微电镀工艺，介绍了一种用于核磁共振成像（MRI）系统的微型射频（RF）接收线圈的设计与微加工制作方法，研制出了线圈内径为100μm，线圈厚度200μm，线圈宽度30μm，深宽比大于6，品质因数为4...

关键词：微型RF接收线圈  核磁共振成像传感器  高深宽比 微机电系统