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卢文娟 收藏

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研究主题:电子束    电子束光刻    抗蚀剂    扫描隧道显微镜    电子束曝光    

研究学科:电子信息类    机械类    自动化类    经济学类    环境科学与工程类    

被引量:44H指数:4

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