苏岩

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主学科研究方向: 1、MEMS惯性技术，主要开展MEMS角速度传感器、MEMS加速度传感器和MEMS惯性系统的新理论、新概念、新方法、新技术和工程应用研究。 2、微纳系统...   详细>>

研究主题：陀螺    单晶硅片    硅    加速度计    玻璃衬底    

研究学科：自动化类    电子信息类    航空航天类    交通运输类    机械类    

被引量：264H指数：9