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王跃林 收藏

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研究主题：微机械    各向异性腐蚀    硅    制作方法    键合    

研究学科：电子信息类    自动化类    机械类    航空航天类    电气类    

被引量：745H指数：13

详细介绍研究成果关系图谱计量评价荣誉奖励

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