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熊幸果 收藏

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研究主题：反应离子刻蚀    微机械    电容式加速度传感器    硅传感器    玻璃衬底    

研究学科：机械类    自动化类    

被引量：14H指数：3

详细介绍研究成果关系图谱计量评价荣誉奖励

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