78年10月考入湖南大学电气工程系学习。82年7月本科毕业后进入西安电缆厂工作。85年9月考入哈尔滨工业大学研究生院攻读硕士学位。90年公派赴日本国立佐贺大学留学，获得博士学位后在该校任教一年。97年在东京大学从事一年MEMS方面的博士后研究。98年4月回到哈工大自动化测试与控制系任教，同年7月破格晋升为教授。00年7月被聘为哈工大博导。02年9月作为北京市属高校特聘教授调入北京工业大学机电学院，主持微机电研究室的工作。