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宋忠孝 收藏

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研究主题:扩散阻挡层    磁控溅射    热稳定性    磁控溅射技术    金属薄膜    

研究学科:电子信息类    电气类    航空航天类    自动化类    能源动力类    

被引量:152H指数:7

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