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主要学术职务: (1) 教育部高等学校仪器仪表学科专业教学指导委员会主任委员; (2) 精密测试技术及仪器国家重点实验室主任; (3) 全国几何量长度计量技术委员会副主任... 详细>>
研究主题:原子力显微镜 微机电系统 MEMS 微结构 扫描隧道显微镜
研究学科:机械类 电子信息类 自动化类 电气类 生物科学类
被引量:1,030H指数:15
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