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栾兰 收藏

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研究主题：版图设计    大规模集成电路    半导体加工    选择比    反应离子刻蚀    

研究学科：电子信息类    

被引量：8H指数：2

详细介绍研究成果关系图谱计量评价荣誉奖励

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