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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院光学工程系 收藏

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研究主题：悬臂梁    灵敏度    微米    有限元仿真    

研究学科：自动化类    

被引量：4H指数：1北大核心: 1

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一种低交叉轴灵敏度微米光栅加速度计设计
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《半导体光电》北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院光学工程系 高山 冯丽爽 周震 邓柯柯  出版年：2020
国防基础科研计划项目(JCKY201601C006).
微米光栅加速度计具有高精度、低功耗、小体积等优点,在惯性导航、油气勘探、地震检波等领域有广泛的应用前景。文章针对传统微米光栅加速度计受到交叉轴串扰导致精度下降的问题,提出了一种双层悬臂梁结构微米光栅加速度计敏感头。利用A...
关键词：光栅加速度计  悬臂梁 交叉轴灵敏度  有限元仿真
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