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东华理工大学理学院物理系 收藏

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研究主题:掺杂    发光    硅基薄膜    硅基    光致发光    

研究学科:电子信息类    

被引量:1H指数:1北大核心: 1 CSCD: 1

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退火对两种硅基薄膜的结构及发光影响
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《功能材料与器件学报》东华理工大学理学院物理系 李群 徐小华 吕波 方诚  出版年:2013
江西省自然科学基金课题(2010GZW0004)
采用双离子束共溅射沉积方法制备了两种复合硅基薄膜SiOxCy和SiOxNy薄膜,对两种薄膜进行后退火处理,并分别对样品进行PL、FTIR、XPS谱测试分析,比较退火前后的发光及结构的变化。两种样品的光致发光测试谱(PL)...
关键词:掺杂 硅基 退火 光致发光
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