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西北师范大学物理与电子工程学院凝聚态物理所 收藏

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研究主题:CH    AR    放电特性    低气压    等离子体    

研究学科:

被引量:0H指数:0北大核心: 1 CSCD: 1

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低气压容性耦合Ar/CH_(4)等离子体的放电特性
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《计算物理》西北师范大学物理与电子工程学院凝聚态物理所 殷桂琴 姜永博 黄禹田  出版年:2024
国家自然科学基金(12165019)资助项目。
为进一步了解在容性耦合等离子体放电时的放电机理与入射到极板处的粒子状态,通过Particle-In-Cell/Monte Carlo Collision(PIC/MCC)程序模拟氩气与甲烷混合气体放电,分别对不同Ar/C...
关键词:容性耦合等离子体放电  Ar/CH_(4)混合等离子体  PIC/MCC模拟  
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