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电子科技大学核心电子材料与器件协同创新中心 收藏

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研究主题:规模化    光子集成器件    集成光学    多项目晶圆    流片    

研究学科:电子信息类    

被引量:3H指数:1WOS: 1 北大核心: 1 CSCD: 1

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基于多项目晶圆流片的规模化光子集成技术
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《激光与光电子学进展》电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室;电子科技大学核心电子材料与器件协同创新中心 郑秀 刘永  出版年:2017
国家自然科学基金(61090393;61421002);核心电子材料与器件协同创新中心基金(ICEM2015-1001)
随着光网络通信容量的高速增长,将分立的光学器件集成化以减小器件尺寸、降低成本成为光电子器件发展的必然趋势。光子集成回路具有尺寸小、功耗低、质量轻等优点,是解决未来宽带光网络能耗大、体积大、容量小等问题的关键技术。综述了基...
关键词:集成光学 光子集成器件 多项目晶圆流片  光子集成回路  硅基光电子学  磷化铟
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