电子科技大学核心电子材料与器件协同创新中心

研究主题：规模化光子集成器件集成光学多项目晶圆流片

研究学科：电子信息类

被引量：3H指数：1WOS: 1 北大核心: 1 CSCD: 1

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基于多项目晶圆流片的规模化光子集成技术: 1; 《激光与光电子学进展》电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室;电子科技大学核心电子材料与器件协同创新中心郑秀刘永出版年：2017; 国家自然科学基金(61090393;61421002);核心电子材料与器件协同创新中心基金(ICEM2015-1001); 随着光网络通信容量的高速增长,将分立的光学器件集成化以减小器件尺寸、降低成本成为光电子器件发展的必然趋势。光子集成回路具有尺寸小、功耗低、质量轻等优点,是解决未来宽带光网络能耗大、体积大、容量小等问题的关键技术。综述了基...; 关键词：集成光学光子集成器件多项目晶圆流片光子集成回路硅基光电子学磷化铟

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