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研究主题:多晶硅    反应器    出口    三氯氢硅    换热器    

研究学科:建筑类    经济学类    机械类    环境科学与工程类    自动化类    

被引量:2,007H指数:16WOS: 2 EI: 12 北大核心: 153 CSCD: 129

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