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研究主题:坩埚    硅    硅片    铸锭    籽晶    

研究学科:电子信息类    电气类    经济学类    能源动力类    自动化类    

被引量:43H指数:4WOS: 1 EI: 4 北大核心: 8 CSCD: 7

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