天津理工大学光电信息与电子工程系天津市薄膜电子与通信器件重点实验室

研究主题：纳米金刚石薄膜纳米金刚石微波等离子体化学气相沉积

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被引量：8H指数：1EI: 1 北大核心: 1 CSCD: 1

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纳米金刚石薄膜的制备 ( EI收录): 1; 《光电子．激光》天津理工大学光电信息与电子工程系杨保和崔建熊瑛陈希明孙大智李翠平出版年：2008; 国家自然科学基金资助项目(60576011);天津市自然基金重点资助项目(05YFJZJC00400);天津市科技发展计划资助项目(06TXTJJC14701);天津市自然基金资助项目(05YFJMJC05300); 采用微波等离子体化学气相沉积系统,利用氢气、甲烷、氩气和氧气为前驱气体,在直径为5 cm的(111)取向镜面抛光硅衬底上沉积出高平整度纳米金刚石薄膜。利用扫描电镜、X射线衍射谱和共焦显微显微拉曼光谱我们分析了薄膜的表面形...; 关键词：纳米金刚石薄膜微波等离子体化学气相沉积

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