复旦大学信息科学与工程学院ASIC与系统国家重点实验室

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研究主题：原子层淀积    X射线光电子能谱    TI    铁电电容    ALD    

研究学科：电子信息类    自动化类    电气类    机械类    

被引量：114H指数：5WOS: 11 EI: 12 北大核心: 36 CSCD: 36