中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室

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研究主题：电子束光刻    X射线光刻    非挥发性存储器    X射线    衍射光栅    

研究学科：电子信息类    自动化类    机械类    电气类    核工程类    

被引量：204H指数：8WOS: 12 EI: 27 北大核心: 61 CSCD: 42