大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室

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研究主题：化学机械抛光    表面粗糙度    硅片    数值模拟    微电铸    

研究学科：自动化类    机械类    电子信息类    航空航天类    电气类    

被引量：7,470H指数：31WOS: 36 EI: 700 北大核心: 1,091 CSCD: 989