中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室

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研究主题：微机械    微电子机械系统    电容式    微电机    传感器    

研究学科：电子信息类    自动化类    机械类    电气类    航空航天类    

被引量：296H指数：7WOS: 4 EI: 15 北大核心: 25 CSCD: 47