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研究主题:椭偏仪    系统参数    光谱    椭偏测量    傅里叶系数    

研究学科:机械类    自动化类    电子信息类    电气类    

被引量:10H指数:2WOS: 2 EI: 2 北大核心: 3 CSCD: 3

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