中国电子科技集团公司第五十五研究所

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研究主题：碳化硅    外延层    芯片    金属    刻蚀    

研究学科：电子信息类    自动化类    经济学类    环境科学与工程类    机械类    

被引量：1,427H指数：14WOS: 8 EI: 26 北大核心: 196 CSSCI: 9 CSCD: 90