哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所

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研究主题：原子力显微镜    AFM    超精密加工    表面粗糙度    分子动力学    

研究学科：机械类    电子信息类    自动化类    航空航天类    生物科学类    

被引量：1,971H指数：21WOS: 17 EI: 159 北大核心: 199 CSCD: 209