复旦大学信息科学与工程学院微电子学系

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研究主题：MEMS    气体传感器    现代热力学    铜互连    红外    

研究学科：电子信息类    自动化类    机械类    电气类    经济学类    

被引量：325H指数：9WOS: 20 EI: 27 北大核心: 76 CSSCI: 1 CSCD: 72