厦门大学物理科学与技术学院半导体光子学研究中心

研究主题：储层金纳米颗粒结构参数高性能

研究学科：电子信息类

被引量：0H指数：0北大核心: 1

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Au纳米颗粒结构参数优化制备高性能纳米晶存储器: 1; 《半导体技术》厦门理工学院光电与通信工程学院福建省光电技术与器件重点实验室;厦门大学物理科学与技术学院半导体光子学研究中心许怡红陈松岩李成出版年：2022; 福建省教育厅科技项目(JAT200484);国家自然科学基金资助项目(61474081,61534005)。; 高性能纳米晶存储器是下一代非易失性存储器的潜在候选者,而纳米颗粒结构参数严重影响纳米晶存储器的性能。结合射频磁控溅射和快速热退火技术制备了四组不同平均尺寸和数密度的Au纳米颗粒,颗粒平均尺寸为4.6~17.3 nm,数密...; 关键词：金纳米颗粒结构参数存储窗口高性能纳米晶存储器存储层

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