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河北北方学院理学院新能源科学与技术研究所 收藏

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研究主题:磁控溅射    透明导电    太阳电池    第一性原理计算    F    

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被引量:2H指数:1WOS: 1 EI: 1 北大核心: 1 CSCD: 1

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F,Al共掺杂ZnO透明导电薄膜的制备及掺杂机理研究 ( EI收录)
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《物理学报》河北北方学院理学院;中国民航大学理学院;陆军军事交通学院基础部 王延峰 谢希成 刘晓洁 韩冰 武晗晗 连宁宁 杨富 宋庆功 裴海林 李俊杰  出版年:2020
河北省自然科学基金(批准号:A2019405059);河北省重点研发计划(批准号:19214301D);河北北方学院省属高校基本科研业务费(批准号:JYT2019001);河北北方学院一般项目(批准号:YB2018014);河北北方学院大学生创新创业训练项目(批准号:201910092010)资助的课题.
本文采用磁控溅射技术,对F和Al共掺杂ZnO(FAZO)薄膜进行研究,系统地研究了溅射气压对薄膜结构、形貌、光电等特性的影响.实验研究结果表明:F,Al共掺入并未改变ZnO的生长方式,所制备的薄膜都呈(002)择优生长;...
关键词:F和Al共掺杂ZnO薄膜  磁控溅射 第一性原理计算 太阳电池
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