吉林工程技术师范学院量子信息技术交叉学科研究院

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研究主题：关联成像    浸没式光刻    单晶硅    误差分析    多光谱    

研究学科：机械类    兵器类    电子信息类    自动化类    电气类    

被引量：74H指数：5WOS: 3 EI: 20 北大核心: 31 CSCD: 24