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青岛化工学院等离子体表面技术研究所 收藏

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研究主题:PCVD    氮化钛    等离子体    涂层    化学气相沉积    

研究学科:电子信息类    机械类    

被引量:174H指数:8WOS: 1 EI: 6 北大核心: 13 CSCD: 18

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