上海交通大学微纳米科学技术研究院

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研究主题：MEMS    微机电系统    微电子机械系统    碳纳米管    MEMS技术    

研究学科：电子信息类    自动化类    电气类    机械类    航空航天类    

被引量：3,351H指数：23WOS: 35 EI: 232 北大核心: 474 CSCD: 477