登录    注册    忘记密码
高级检索
概览 下级机构 专家学者 科研产出 学科建设 成果管理 成果提交 成果认领 成果审核 学术分析 机构森林 关于我们
-
结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一机构
结果分析中...

科研产出

已选条件：
  • 数据库收录=Web of Science数据库x
  • 机构=清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室x
全选清除导出
排序方式：

共 1 条 记 录，以下是 1-1

金属三维微结构加工技术的研究
1
《仪表技术与传感器》重庆科技学院电气与信息工程学院;清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;中电集团电子44所;重庆科技学院电气与信息工程学院;日本东北大学工学部机械知能系 吴英 周兆英 江永清 向毅 小野崇人  出版年：2006
三维微结构制作技术是MEMS加工的关键技术之一.现有的三维微细加工技术主要有利用SU-8等光刻胶形成的以IC工艺为基础的硅三维微结构制作技术和以同步辐射X射线曝光为基础的LIGA技术.但是,在传统的去胶液中,SU-8光刻...
关键词：MEMS 微加工 反应离子刻蚀 电镀 金属微结构  
全选清除导出
共1页<< <1> >>
已选条目 检索报告 聚类工具

版权所有©重庆科技学院 重庆维普资讯有限公司 渝B2-20050021-7
　渝公网安备 50019002500408号　违法和不良信息举报中心