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快速大面积测量用原子力显微镜扫描速度对测量结果的影响 ( EI收录)
1
《光学精密工程》宁波大学机械工程与力学学院;重庆科技学院机械与动力工程学院;东北大学工学院 崔玉国 何高法 荒井義和 高伟  出版年：2011
日本学术振兴基金资助项目(No.18206016)
构建了一种可快速大面积测量光栅表面微结构的原子力显微镜(AFM)系统,研究了不同扫描模式下扫描速度对测量结果的影响。分别测量了微悬臂探针在恒高模式与恒力模式下的频谱,获得了这两种模式下微悬臂探针的有效带宽。基于恒高模式与...
关键词：原子力显微镜(AFM)  快速测量  大面积测量  恒高模式  恒力模式  扫描速度  
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