文献类型：期刊文章

作　　者：崔玉国[1] 何高法[2] 荒井義和[3] 高伟[3]

机构地区：[1]宁波大学机械工程与力学学院,浙江宁波315211 [2]重庆科技学院机械与动力工程学院,重庆401331 [3]东北大学工学院

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：日本学术振兴基金资助项目(No.18206016)

年　　份：2011

卷　　号：19

期　　号：11

起止页码：2636-2643

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20115114614478)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：构建了一种可快速大面积测量光栅表面微结构的原子力显微镜(AFM)系统,研究了不同扫描模式下扫描速度对测量结果的影响。分别测量了微悬臂探针在恒高模式与恒力模式下的频谱,获得了这两种模式下微悬臂探针的有效带宽。基于恒高模式与恒力模式,在不同扫描速度下分别测量了光栅微结构表面上的一条直线与一个圆周,进而分析了扫描速度对测量结果的影响。基于该AFM系统,采用恒高模式下不失真扫描速度对光栅微结构表面进行了快速、大面积三维形貌测量实验。实验结果表明:测量光栅微结构表面上直径为4.0mm的圆形区域所用时间仅为40s。当扫描速度不超过微悬臂探针有效带宽所对应的速度时,所构建的AFM系统可无失真地实现微结构表面的快速、大面积测量。

关 键 词：原子力显微镜(AFM)  快速测量  大面积测量  恒高模式  恒力模式  扫描速度  

分 类 号：TH742]