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机构=重庆光电技术研究所

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多晶硅微型电极阵列的研制 ( EI收录): 1; 《半导体光电》重庆科技学院;重庆光电技术研究所;重庆大学光电工程学院吴英江永清温志渝张正元出版年：2005; 重庆市自然科学基金资助项目; 讨论了pn结对制作硅微电极阵列的局限性,提出了一种在沟道侧壁制作多晶硅电极阵列的设计和制作方法。实验结果表明,利用该方法研制的微电极阵列不仅克服了pn结的影响,能够为MEMS芯片器件提供所需的工作电压,而且也为一些小型化...; 关键词：MEMS 微型电极阵列多晶硅

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