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共 1 条 记 录，以下是 1-1

谐振式微加速度计驱动和检测结构设计及制作 ( EI收录)
1
《重庆大学学报（自然科学版）》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院机械系;中国工程物理研究院电子工程研究所 何高法 唐一科 周传德 何晓平 吴英  出版年：2009
国家自然科学基金资助项目(60876088)
基于谐振式加速度计的工作原理和结构特点,设计了一种新型微加速度计谐振器,用解析法和有限元法计算了谐振器的横向驱动力以及其处于谐振状态时的检测电容值。综合粘性阻尼、运动阻尼和气膜阻尼,分析了谐振器在大气环境下的阻尼和品质因...
关键词：微机电系统 加速度计 谐振器 静电梳齿  
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