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微加速度计中新型微杠杆机构设计和分析
1
《传感技术学报》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院机械系;中国工程物理研究院电子工程研究所 何高法 唐一科 刘世明 何晓平  出版年：2007
中国工程物理研究院对本课题研究工作给予的资助和支持.
设计谐振式微加速度计时,需要考虑一个最关键的问题是提高其灵敏度.放大质量块产生的惯性力是提高灵敏度的最有效方法.基于柔性铰链技术设计一种新型两级微杠杆放大机构,并建立了放大机构的力学和数学模型,在此基础上进行了解析法分析...
关键词：微机电系统 微杠杆  柔性铰链 加速度计
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