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体微加工技术在MEMS中的应用

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《压电与声光》四川压电与声光技术研究所;四川压电与声光技术研究所;重庆科技学院机械与动力工程学院;四川压电与声光技术研究所;四川压电与声光技术研究所;四川压电与声光技术研究所;四川压电与声光技术研究所;四川压电与声光技术研究所 林日乐 谢佳维 蔡萍 翁邦英 董宏奎 赵建华 王瑞 张巧云  出版年：2005

微机电系统(MEMS)技术的基础是由微电子加工技术发展起来的微结构加工技术,包括表面微加工技术和体微加工技术.其中体微加工技术是微传感器、微执行器制造中最重要的加工技术.该文主要介绍以加工金属、聚合物以及陶瓷为主的LIG...

关键词：微加工技术 微机电系统(MEMS)  LIGA技术 微电子加工技术  微加速度传感器 应用  刻蚀技术 微传感器 微执行器 石英晶体  技术制作  微结构  聚合物  牺牲层 硅