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科研产出

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  • 数据库收录=北大核心x
  • 机构=清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系x
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2 条 记 录,以下是 1-2

基于单壁碳纳米管阵列的力敏传感器 ( EI收录)
1
《机械工程学报》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院电气与信息工程学院;清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室;清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 唐一科 郑富中 周兆英 杨兴 吴英  出版年:2010
国家自然科学基金资助项目(50875139;60876088)
利用传统的硅微加工技术,在硅片上制作出平行的微电极对,然后对硅片进行深刻蚀穿通,在微电极对之间获得长方形的贯通缝。接着利用大气流定向式的化学气相沉积方法在带有贯通缝与微电极的硅片上生长出超长单壁碳纳米管阵列,使单壁碳纳米...
关键词:化学气相沉积 悬空单壁碳纳米管阵列  应变传感 微纳传感器件  
单壁碳纳米管阵列场效应特性的研究
2
《固体电子学研究与进展》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院机械与动力工程学院;清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室;清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室;重庆科技学院电气与信息工程学院 郑富中 唐一科 周兆英 杨兴 吴英  出版年:2010
单壁碳纳米管(Single-walled carbon nanotube,SWCNT)有许多异常的电特性,要完全实现其在实际电子系统中的潜在应用价值,需要在器件与电路的结合上有不断创新的方法。由于SWCNT在电子学上分为...
关键词:单壁碳纳米管阵列  化学气相沉积 控制转移  场效应
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