会议论文详细信息
AL/CUPC/CU肖特基气敏二极管制备与特性
文献类型：会议
作者单位：哈尔滨理工大学应用科学学院电子科学与技术系,工程电介质及其应用教育部重点实验室,150080
会议文献：第十三届全国工程电介质学术会议论文集
会议名称：第十三届全国工程电介质学术会议
会议日期：2011年10月1日
会议地点：西安
主办单位：中国电工技术学会
语 种：中文
摘 要：实验采用溅射和蒸发镀膜工艺,制备了一种新型的AL/CUPC/CU三明治结构NO2气敏传感器。这种器件对NO2气体具有较高的敏感性,制备工艺简单,成本较低。通过研究其在NO2气体中电学特性的变化,来表征其敏感特性。研究结果表明,在10PPM的NO2气体环境中,器件的正向电流明显增大。通过比较器件在空气和NO2气体中器件的肖特基势垒高度的变化,发现通入NO2气体50分钟后,CUPC/AL势垒高度降低了60MEV,正向整流电流增加77倍。
关 键 词：肖特基 酞菁铜 敏感度 势垒高度
分 类 号：TN3] [物理学类] O48
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