文献类型：期刊文章

作　　者：高子健[1] 司黎明[1] 刘埇[1] 吕昕[1]

机构地区：[1]北京理工大学信息与电子学院电子工程系,毫米波与太赫兹技术北京市重点实验室,北京

出　　处：《天线学报》

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)(批准号:2012AA8123012);国家重点基础研究发展计划(973计划)(批准号:2010CB327505和61372010302);国家自然科学基金(批准号:61275107)资助的课题。

年　　份：2013

卷　　号：2

期　　号：1

起止页码：1-6

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：本文提出了一种基于微电子机械系统(MEMS)工艺的高增益低副瓣太赫兹波纹喇叭天线设计方法。利用三维全波有限元电磁仿真软件Ansys HFSS,对角锥喇叭的波纹开槽尺寸和条数进行参数分析和优化设计,获得了在275 GHz至580 GHz的有效带宽内(回波损耗小于10 dB)增益超过8 dB和副瓣电平小于?13 dB的太赫兹波纹喇叭天线。结果表明波纹开槽可有效提高太赫兹喇叭天线增益并压低副瓣,同时也说明MEMS工艺可有效用于太赫兹功能器件设计。

关 键 词：太赫兹 微电子机械系统(MEMS)工艺  喇叭天线 波纹开槽  

分 类 号：R73]