会议论文详细信息
TeO2/IDT/ZnO（110）/Si（100）多层薄膜结构声表面波传播及敏感特性数值模拟
文献类型：会议
作者单位：深圳大学物理与能源学院深圳市先进薄膜与应用重点实验室；
会议文献：TFC’17全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
会议名称：TFC’17全国薄膜技术学术研讨会
会议日期：2017-08-19
会议地点：中国安徽合肥
主办单位：中国真空学会薄膜专业委员会
出版日期：20170819
学会名称：中国真空学会薄膜专业委员会
语 种：中文
摘 要：过去几十年,声表面波器件被广泛应用于通讯,雷达,电子对抗等领域。近年来,声表面波传感器由于具有高灵敏度、无线无源等优势被广泛应用于生物监测和传感领域。在生物化学检测过程中的大部分是液体环境,因此需要剪切横波的声表面波器件,因为剪切横波质点平行于表面振动,没有垂直于表面的分量,不向液体辐射能量,其检测灵敏度高。目前多数制作剪切横波模式的声表面波器件都采用LiNbO3,LiTaO3和石英基片。这些
分 类 号：TB383.2[材料类]
参考文献：
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引证文献：
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同被引文献：
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