文献类型：会议

作　　者：李青 匡文剑 陈禹翔 胡凯

作者单位：东南大学电子科学与工程学院显示技术研究中心 江苏省信息显示工程技术研究中心

会议文献：中国真空学会2012学术年会论文摘要集

会议名称：中国真空学会2012学术年会

会议日期：20120921

会议地点：中国甘肃兰州

主办单位：中国真空学会(Chinese Vacuum Society)

出版日期：20120921

学会名称：中国真空学会

语　　种：中文

摘　　要：以等离子体放电为机理的紫外光源,在现代技术领域中应用更加广泛和具体,如杀菌、消毒,激光泵浦,光敏材料的固化,介质表面的改性,光清洗,微电子集成电路的刻蚀,污染物的降解,生物医学检测及诊治等。目前多以管状光源为主。随着技术的发展和应用领域的拓展,平板紫外光源技术得到发展,体现了良好的发展前景。本文将从三方面进行综述:(1)DBD原理的紫外光源的原理及应用;(2)等离子体平板紫外光源的技术发展及应用;(3)柔性等离子体平板光源的研制。采用DBD介质放电结构的准分子光源在照明、微电子加工等领域具有重要地位。其工作原理是在细管中充入稀有气体,如Xe2,处于激发状态准分子Xe2*,存在时间很短(纳秒量级),通过自发辐射跃迁回到能量较小的状态从而辐射出光子,并分解为原子。在跃迁中产生的172nm的真空紫外光激发紫外荧光粉,产生紫外光。这类紫外光源具有无环境污染,发光效率高等优势,在生物医疗、环境保护方面得到广泛应用。由于管状紫外光源在一些应用领域受到局限性,平板型等离子体紫外光源技术应运而生。日本NEC公司生产的平板型窄谱中波紫外光源是一个很好开端,使其在治疗皮肤顽症方面掀开崭新一页。本文将对平板紫外光源的结构、原理、技术发展及应用做一回顾。平板等离子体光源改善了发光均匀特性,而对轻、薄的大面积空间均匀发光的需求又促进了柔性平面光源的发展,以满足照明及其它特种需求。目前提出了两种类型的柔性平板荧光灯,一类是传统平板荧光灯思路的延续;一类是基于微等离子体的新型结构。对于前者的柔性平面光源,它只是采用低温工艺在柔性基板制备柔性光源。对于后者,是以美国UniversityofIllinois的GaryEden教授研究组[5]提出的微腔等离子体柔性平板光源为代表。东南大学在超薄荫罩等�

关 键 词：紫外光源 等离子体 平面光源  

分 类 号：O539[物理学类]