文献类型：会议

作　　者：卢希钊 江开勇

作者单位：华侨大学机电及自动化学院福建省特种能场制造重点实验室

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51475173);国家自然科学基金资助项目(51475174)

会议文献：特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集（摘要）

会议名称：特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议

会议日期：20171117

会议地点：中国广东广州

主办单位：中国机械工程学会特种加工分会;广东工业大学

出版单位：中国机械工程学会特种加工分会

出版日期：20171117

学会名称：中国机械工程学会

语　　种：中文

摘　　要：激光诱导等离子体辅助加工技术是一种利用激光间接作用于透光性良好、硬脆性的待加工透明体上,加工微结构、形成沉积的非接触式加工方式。该蚀刻/沉积方式可在双面抛光的透明体上,利用激光诱导产生的等离子体/离子团聚进行微加工、蚀刻、金属沉积。加工、蚀刻的横截面形状(蚀刻线宽、深度)主要取决于激光的以下参数:脉冲宽度、激光光强、重复频率,扫描速度等,以及透明物质与金属靶(本研究为铜靶)之间的距离。本研究主要以

关 键 词：激光诱导 等离子体辅助加工  单晶蓝宝石  蚀刻 沉积  

分 类 号：TG665]