文献类型：会议

作　　者：孙科学 张淑仪 和佐清孝 水修基

作者单位：近代声学教育部重点实验室南京大学声学研究所 横滨市立大学理学院

基　　金：国家自然科学基金项目(11174142,11304160)

会议文献：中国声学学会2017年全国声学学术会议论文集

会议名称：中国声学学会2017年全国声学学术会议

会议日期：20170922

会议地点：中国黑龙江哈尔滨

主办单位：中国声学学会

出版单位：《声学技术》编辑部

出版日期：20170922

学会名称：中国声学学会

语　　种：中文

摘　　要：<正>0引言压电材料是滤波器、传感器、换能器等电子元器件重要的组成部分,已经广泛应用于航空、通信、汽车制造、家电、医疗、探测等诸多领域,因而受到广泛的关注。然而,高温失效一直是困扰压电材料发展的主要问题。近年来Bi（Me）O3-PbTiO3（Me=Sc,In,Y,Yb,等）高居里温度铁电陶瓷成了研究热点[1,2]。考虑到电子器件的小型化,诸多研究者聚焦到研发高居里温度薄膜材料,比如BiS

关 键 词：压电薄膜 悬臂梁 横向压电  参数测量

分 类 号：TB383.2[材料类]