文献类型：会议

作　　者：邹毅

作者单位：德克萨斯大学奥斯汀分校电气与计算机工程系 南京大学现代工程与应用科学学院量子电子学与光学工程系

基　　金：美国国家自然科学基金(批准号:IIP-1127251)资助的课题~~

会议文献：全国第17次光纤通信暨第18届集成光学学术会议——光学与光子子系统

会议名称：全国第17次光纤通信暨第18届集成光学学术会议

会议日期：20151218

会议地点：中国江苏南京

主办单位：中国电子学会通信学分会;中国通信学会光通信委员会;中国光学学会纤维光学与集成光学专业委员会

出版日期：201512

学会名称：南京光通信与光电子技术学会

语　　种：中文

摘　　要：硅材料是微电子行业中的基本材料。在过去的十年中,因为具有和微电子器件较好的兼容性,并且可以充分利用微电子行业已经发展成熟的加工工艺来降低生产成本,硅材料又被广泛应用于光子学研究,并衍生出了硅基光子学这一新兴领域。除了前面提到的优点之外硅材料还具有从1.1微米到8微米波长的宽带低损耗窗口,可以覆盖从近红外到中红外的区域,并且具有较大的折射率,可缩小器件尺寸,提高器件集成度。这些优点使得硅基材料成为一

关 键 词：光谱学 中红外 硅基光子学  波导

分 类 号：TN304.12] TP212]